Arradiance annonce la vente d’un outil combiné ALD/CVD pour banc de travail

Le système révolutionnaire de dépôt de couches atomiques (ALD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour banc de travail est destiné à la recherche avancée en matière de dépôt métallique

SUDBURY, Massachusetts--()--Arradiance Inc. a annoncé aujourd’hui avoir reçu une commande pour le premier outil combiné ALD/CVD pour banc de travail de l’industrie destiné à la recherche avancée en matière de dépôt métallique. Les fonctionnalités du nouveau système réduisent la contamination et optimisent le contrôle des processus. Ce nouveau système GEMStar, capable de traiter des substrats de 200 mm en utilisant jusqu’à huit précurseurs, a la capacité d’atteindre des températures de processus pouvant atteindre 400°C en mode de flux contrôlé, pulsé ou continu, afin d’offrir aux chercheurs des films métalliques de la plus haute qualité qui soit disponible.

«Ce système GEMSTAR-8 unique associe le contrôle du dépôt de couches atomiques avec la rapidité et la polyvalence du dépôt chimique en phase vapeur dans une unité compacte pour banc de travail, idéale pour le développement de matériaux dans un environnement à température contrôlée (400°C) et avec traitement des gaz»

« Ce système GEMSTAR-8 unique associe le contrôle du dépôt de couches atomiques avec la rapidité et la polyvalence du dépôt chimique en phase vapeur dans une unité compacte pour banc de travail, idéale pour le développement de matériaux dans un environnement à température contrôlée (400°C) et avec traitement des gaz », a déclaré David Beaulieu, chef des opérations chez Arradiance. « Le dépôt métallique est particulièrement intéressant dans des marchés tels que les semi-conducteurs et les énergies renouvelables. La recherche sur les matériaux dans ce domaine pourrait conduire à l’avenir à une énergie moins coûteuse et plus abondante ».

Depuis son entrée sur le marché en 2009, GEMStar est devenu l’outil de laboratoire préféré des chercheurs rigoureux ayant besoin d’un système ALD de qualité à un prix abordable. Le système a été adopté par des instituts de recherche américains et internationaux de premier plan dans le monde entier.

« Notre expérience unique et notre travail novateur avec nos plaques à microcanaux brevetées, pour de grandes surfaces, activées ALD, ainsi que notre expertise en matière de science des matériaux, d’ingénierie système et de développement de produits ont été associés pour rendre possible un système ALD de recherche véritablement robuste destiné aux scientifiques et ingénieurs qui prennent les résultats aux sérieux », a déclaré Ken Stenton, PDG d’Arradiance. « Du fait de la demande pour un élargissement des matériaux pouvant être déposés avec la technique ALD, nous avons reconnu le besoin pour un outil de recherche présentant une performance des films et une fiabilité de système excellentes avec une taille et un coût compatibles avec l’environnement de la recherche. Nous sommes persuadés que le système GEMStar-8 dépassera les attentes des clients ».

La demande pour un système de dépôt métallique de haute qualité, contrôlé avec précision, sur des structures à rapport d'aspect plus élevé, est de plus en plus importante de la part de l’industrie des semi-conducteurs, afin de pouvoir gérer les géométries plus réduites des futures générations de puces.

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Arradiance nous permet de mieux percevoir le monde caché qui nous entoure. Ses technologies de film fonctionnel améliorent fortement les performances des systèmes d’imagerie et de détection, offrant des améliorations auparavant inaccessibles. Ses processus habilitants ouvriront les portes d’un nouveau monde d’appareils optoélectroniques flexibles et robustes qui changeront notre façon de voir le monde.

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